High Vacuum Thermal Evaporator- DTE
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High Vacuum Thermal Evaporator – DTE
The High Vacuum Thermal Evaporator – DTE, also known as the Desktop Thermal Evaporator, is a compact, budget-friendly system built to deposit thin material layers onto substrates. Its main uses are in research settings and in sample preparation for electron microscopy investigations.
Compact Evaporation System for Laboratory Experiments
The DTE is configured as a material evaporator, which makes it a good fit for experiments that involve sample evaporation. Its small chamber runs under high-vacuum conditions, allowing fast deposition of noble metals as well as oxidizing metals.
Applications
- Metal thin-film deposition
- Nano- and microelectronics fabrication
- Solar cell development and manufacturing
- Thin-film sensor production
- Fine-grain structural coatings for SEM and FE-SEM sample preparation
- Flash-mode carbon fiber evaporation for SEM sample preparation
Features and Advantages
Thermal Evaporation
The DTE pairs a high-current power supply with a low-voltage (resistive) thermal evaporation platform, giving it the flexibility to handle a broad range of thermal evaporation tasks. The system offers precise control over how a wide variety of materials are evaporated onto the substrate. It supports several source types, including boats, baskets, and coils, all of which can be mounted on a single thermal source holder.
A 1.2 kW high-current DC power supply allows the DTE to lay down a thin layer of evaporant material on many different surfaces. This makes the system a strong choice for diverse applications, including SEM sample preparation.
Hardware
- Semi-automatic control of the material evaporation process
- Dedicated DC high-current power supply (maximum 12 V, 100 A)
- 170 mm diameter vacuum chamber constructed from Borosilicate-SST
- Built-in Leybold turbo pump (90 liters per second) for reaching high vacuum
- Two-stage rotary pump, with an optional diaphragm or scroll pump available
- Quartz crystal monitoring for accurate real-time thickness measurement (1 nanometer precision)
- Electronic shutter for added process control
- Two high-current electric feed-throughs for simple insertion of thermal sources
- Movable thermal source holder that supports both upward and downward deposition setups
- Automatic venting valve
- Full-range vacuum gauge
- S-Clip sample holder mounted on the chamber lead
- Optional 2-inch rotating sample holder for the base plate
- Adjustable sample rotation, height, and tilt (when using the optional 2-inch sample holder)
- Two-year warranty
Automation
- Intuitive touchscreen interface for managing the vacuum process and operating the device
- User-friendly software that can be updated over the network
- Electronic shutter for precise control
Clean Vacuum
- Vacuum chamber with a 170 mm outer diameter (OD) and a 140 mm height (H)
- Internally mounted 90 L/s turbo molecular pump, optionally backed by a 6 m³/h two-stage rotary vane pump
Touch Screen Control
The DTE features a 7-inch color touch-screen panel with easy-to-use software for managing deposition process data. Vacuum and coating sequence information appears on the screen as digital readouts or curves. The system also stores records of the last 300 coatings, which can be reviewed on the history page.
Sample Holder
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The DTE deposition system provides flexible metal evaporation through two distinct configurations:
1. Upward Deposition
- The material to be evaporated is loaded into a boat source.
- The sample is held securely on the S-Clips on the chamber lead, allowing easy access during deposition.
2. Downward Deposition
- A small amount of the desired material is loaded into a basket.
- A rotating sample holder can optionally be used on the baseplate for this configuration.
DTE Operation Requirements
The DTE deposition system is built around a small chamber, which delivers a compact footprint, lightweight design, fast pump-down, and budget-friendly operation. Keep the following advisory notes in mind when using the system:
1. Ideal for Short-Term Thin Film Coatings
- The DTE is well suited to short-term thin film coatings.
- For extended, long-term, or thick-layer depositions, caution is advised, as these conditions may affect the chamber.
2. Suitable for Low Vaporization Temperature Materials
- The system performs best when depositing source materials with low vaporization temperatures.
3. Maximum Sample Diameter Limitation
- The maximum sample diameter supported by the rotating substrate holder is 2 inches.
If these coating conditions do not match your requirements, consider our DTT model, which offers a larger 300 mm diameter chamber and three thermal sources.
Technical Specifications
- Ultimate Vacuum: Less than 4×10-6 Torr
- Short-duration deposition process
- Records and plots parameters displayed on the touchscreen
- Transfers curves and deposition process data via a USB port to PC
- 0-12 V, 0-100 A DC high-current power supply
- Utilities: 220V-110V, 50/60Hz, 6/8A
- Instrument Dimensions: 450 Width × 450 Depth × 500 Height mm (without Rack)
- Net Weight: 30 kg (without backing pump)
Options and Accessories
Certainly, here are the options and accessories for the DTE Deposition System:
- Quartz crystal sensor
- Spare glass chamber
- Sealing gaskets
- Boats and baskets
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