High Vacuum Desk Sputter & Carbon Coater - DSCT
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High Vacuum Desk Sputter & Carbon Coater – DSCT
The DSCT High Vacuum Desk Sputter & Carbon Coater is a versatile benchtop system that brings sputter coating and carbon fiber coating together through interchangeable heads. It is a dependable choice for preparing samples for Scanning Electron Microscope (SEM) analysis.
Applications
- Scanning Electron Microscopy (SEM): Gives non-conductive specimens a conductive coating for high-resolution imaging.
- Field Emission SEM (FE-SEM): Produces ultra-fine, uniform coatings that advanced, high-resolution surface analysis requires.
- EDS/WDS Analysis: Applies contamination-free carbon coatings suited to accurate elemental and compositional studies.
- Transmission Electron Microscopy (TEM): Forms thin, uniform carbon films for specimen support grids and sample preparation.
- Electron Backscatter Diffraction (EBSD): Delivers stable, conductive coatings that improve diffraction pattern quality.
- Thin Film Research: Supports deposition of a wide range of materials, including noble metals and carbon, as well as demanding targets such as tungsten and chromium.
- Porous and Fragile Samples: Achieves even coverage with optional planetary rotation stages that protect delicate structures.
- Academic and Research Laboratories: The dual-mode design suits teaching, training, and multi-application research.
Features and Advantages
Hardware
- High vacuum performance with a built-in 90 L/s Leybold turbo pump
- Two-stage rotary vane backing pump (diaphragm and scroll pump)
- 80 W switching DC power supply for sputtering
- Carbon fiber evaporation head
- 500 W high-current DC power supply for carbon fiber evaporation
- Quartz crystal thickness monitor with 1 nm precision and 1 Å resolution
- Full-range Leybold vacuum gauge
- Automatic venting valve
- Adjustable sample rotation, height, and tilt
- Optional planetary sample holder
- Electronic shutter
- Easy-to-change specimen stages, with a rotation stage as standard
- Two-year warranty
- CE conformity
Automation
- Semi-full automatic control for sputtering
- Semi-full automatic control for carbon coating
- Intuitive touch screen for managing the coating process and entering data quickly
- User-friendly software that can be updated over a network
- Repeatable, programmable coating process in automatic mode
- Pulsed or flash carbon fiber coating modes
- Manual or automatic timed and thickness-based deposition
- Carbon fiber coating in flash or pulse modes
- Recording and graphing of coating parameters
- Storage of coating recipes for repeatable depositions
Carbon Evaporation with the DSCT
This compact coating system, model DSCT, creates uniform, fine-grained thin films on a variety of surfaces through carbon coating. It uses carbon fiber, or alternatively a carbon rod. An electric current passes through the carbon fiber in either pulsed or flash mode, causing controlled evaporation of carbon that then deposits onto the sample. This approach reduces the debris typically generated by traditional carbon deposition processes.
Pulsed Carbon Fiber Evaporation
The small-chamber desk vacuum sputter and carbon coater is built to perform pulsed carbon fiber evaporation. Short pulses give tighter control over the deposition process and significantly cut the debris commonly associated with conventional carbon deposition techniques.
Sample Holder Stages
The DSCT offers flexible sample stage configurations to match user requirements. The standard stage rotates and features adjustable height and angle for ease of use and versatility. For uniform coating of porous specimens, an optional rotary planetary sample stage is available and recommended.
Color Touch Screen Control
The DSCT, also known as the Desk SEM Coater, features a user-friendly 7-inch color touch screen. The interface provides fully automatic control and simplified data entry, making operation exceptionally easy. Users can monitor key parameters such as vacuum, current, and deposition as digital readouts or graphical curves directly on the screen. The unit also stores data from the last 300 coatings in a history log, which can be transferred to a PC through the built-in USB port.
Theory and Method
This high-vacuum coater excels at producing uniform, fine-grained films, making it ideal for specimens that call for high-resolution, high-quality characterization, including FE-SEM, EDS/WDS, TEM, and EBSD work. With a 2-inch magnetron cathode, an 80 W switching DC power supply, and a high-current power supply for carbon evaporation, the DSCT serves a broad range of research and thin film applications.
The DSCT can also be configured with an optional water-cooled cathode, which makes it better suited to prolonged sputtering deposition. In addition, a higher-power supply can be fitted to enable sputtering of materials such as chromium, tungsten, and other oxidizing metal targets.
Technical Specifications
- Ultimate Vacuum: Less than 5 x 10^-6 Torr
- It controls the sputtering rate to achieve a finer grain structure, typically around 2nm gold grain size.
- It automatically regulates the sputtering power independently of pressure.
- Precision Mass Flow meter (MFC) is used for fine control of vacuum pressure.
- Utilities: 220/110V, 50/60HZ, 10/15A
- Shipping Weight: 42kg
Options and Accessories
- Carbon rod evaporation head
- High-current power supply for carbon rod
- Quartz crystal sensor
- Planetary sample rotation system
- Spare glass chamber
- Sputtering targets
- Carbon fiber
- Sealing gaskets
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