Desk Sputter & Carbon Coater – DSCR-300
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Desk Sputter & Carbon Coater – DSCR-300
Large-Chamber Sputtering and Carbon Coating in a Compact System
The DSCR-300 is a large-chamber desk sputter coater and carbon coater that combines sputtering and carbon coating in one compact unit. It is fitted with 3-inch or 4-inch water-cooled magnetron cathodes, giving laboratories flexible options for sample preparation.
Coating Larger and Multiple Specimens
The generous chamber suits larger samples, handling specimens up to 12 cm in diameter with a 3-inch magnetron or up to 15 cm with a 4-inch magnetron. It can also coat several smaller specimens of comparable diameter in a single run.
Water-Cooled Magnetrons for Extended Sputtering
Water-cooled magnetrons allow longer sputtering times. This makes the DSCR-300 a practical choice for depositing both thick and thin films across a wide range of applications.
Key Applications
- Fine-grain deposition of noble metals, well suited to SEM and FE-SEM sample preparation
- Formation of conductive layers on specimens
Features and Advantages
- Simple, straightforward operation
- User-friendly software supporting both fully automatic and semi-automatic control
- Intuitive touchscreen interface for smooth control of the coating process and fast data entry
- Easy loading and unloading of specimens
- Repeatable film thickness deposition
- Precise, reproducible coatings
- High-resolution fine coatings, with a grain size on the order of 2 nm for gold
- Low-voltage sputtering
- GLAD (Glancing Angle Deposition) sputtering
- Plasma cleaning
- No cooling system needed for thin layers
- Carbon coating in both flash and pulse modes
- Dual carbon fiber source for depositing thicker layers
- Two-year warranty for added peace of mind
- CE conformity, confirming compliance with safety standards
- Worldwide public and product liability insurance coverage, protecting against property damage or personal injury caused by Vac Coat systems
Sample Stages
The large Desk Sputter and Carbon Coater provides flexible sample stage configurations, accommodating sizes up to 15 cm based on the user’s specific requirements. The stages are rotatable, offer adjustable height settings, and can be swapped out easily for added convenience.
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SEM Sample Preparation
Non-conductive and poorly conductive specimens typically need preparation before they can be examined under a Scanning Electron Microscope (SEM). The standard techniques for this step are sputter deposition and carbon evaporation. Our system offers fully automated operation, so even first-time users can run it with confidence. The intuitive software also displays deposition data graphically, keeping the system accessible and cost-effective.
Carbon Coating Head
The system comes with an interchangeable head dedicated to carbon coating. It can hold three carbon fibers, each 0.8 mm in diameter, which allows carbon layers to be deposited on large samples. This configuration is especially well suited to applications involving Energy Dispersive X-ray Spectroscopy (EDX).
Color Touchscreen Control
The DSCR-300 features a 7-inch color touchscreen that provides fully automatic control and data entry, making operation straightforward for inexperienced users. Vacuum levels, current readings, and deposition information can be monitored directly on the screen, in either digital form or graphical curves. The system also stores data from the last 300 coatings, which can be reviewed anytime on the history page.
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Theory and Method
The DSCR-300 desk sputter coater delivers versatile deposition on a wide range of substrates. This makes it a good fit for thin film applications in fields such as micro and nanoelectronics, as well as SEM sample preparation.
The system can sputter noble metals, including gold (Au), palladium (Pd), platinum (Pt), and gold/palladium (Au/Pd), onto non-conductive or poorly conductive specimens. The DSCR-300 can also apply carbon films.
Please note that sputtering oxidizing metals requires a turbomolecular pump, which can be added to either the DSCT-300 or the DSCT-170 system. The DSCR is a rotary-pumped coater that can be configured for both DC sputtering and carbon fiber (thread) coating through interchangeable heads, all within a single instrument.
- Chamber Size: 300 mm OD x 150 mm Pyrex cylinder chamber
- Dimensions: 58 cm H x 50 cm W x 63 cm D
- Magnetron Cathode Options: 3 or 4 inches
- Shipping Weight: 42 kg
- Power Supply: 220V-240V, 50/60Hz, 10A
- DC Power Supply Output: 200 Watts
- Ultimate Vacuum: Less than 5*10^-2 Torr
- Data Transfer: Curves and sputtering process data can be transferred via USB port to a PC
- Vacuum Pump: Two-stage, direct drive, 12 m^3/h, rotary vane pump
- Vacuum Gauge: Thermocouple vacuum gauge
- Quartz Crystal Thickness Monitor: Precision of 1 nm
- Automatic Venting Valve
- Data Storage: Capability to save the data from the last 300 coatings
- Vacuum Pump Weight: 20 kg
Options and Accessories
- Quartz crystal sensor
- Spare glass chamber
- Sputtering targets
- Sealing gaskets
- Carbon rod evaporation head
- High current power supply for carbon rod
- Carbon fiber
Información importante sobre la entrega
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